Glavna klasifikacija vakuumskih za oblaganje

Postoje dvije glavne kategorije: premaz za isparavanje i presvlačenje talovanja koji uključuju mnogo tipova, uključujući vakuum ion isparavanje, magnetron pljuveći, MBE molekularni epitaxy, sol-gel metoda itd.
1. Za premaz isparavanja:
Općenito, ciljni materijal se zagrijava za isparavanje površinskih komponenti u obliku atomskih grupa ili jona.
Jejednačinost debljine uglavnom ovisi o:
1. Detaljni stupanj rešetke između materijala podloge i ciljanog materijala
2. Temperatura površine supstrata
3. Snaga isparavanja, brzina
4. Vakuumski stepen
5 Vrijeme premaza, veličina debljine.
Komponentna jednolikost:
Komponentna jednolikost premaza isparavanja nije lako garantirati. Specifični faktori koji se mogu prilagoditi su isti kao gore. Međutim, zbog ograničenja principa, za nekomponentnu komponentnu oblogu, komponentna uniformacija isparavanja premaza nije dobra.
Uniformnost kristalne orijentacije:
1. Detaljni stupanj rešetke
2. Temperatura supstrata
3. Brzina isparavanja
Prekrivanje prskanje može se podijeliti u mnoge vrste. Generalno gledano, razlika iz prevlačenja isparavanja je da će stopa prskanje postat će jedan od glavnih parametara.
U prskom jeziku, lasersko pljuvačke PLD je jednostavno održavanje komponentne uniformnosti, ali uniformnost debljine na atomskoj skali je relativno loša (jer je pulsirana pulca), a kontrola rasta kristala (vanjska ivica) je također relativno općenito.